1.EDS與XPS的相同點(diǎn)：兩者均可以用于元素的定性和定量檢測(cè)。

　　2.EDS與XPS的不同點(diǎn)：

　　1)基本原理不一樣:簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，XPS是用X射線(xiàn)打出電子，檢測(cè)的是電子；EDS則是用電子打出X射線(xiàn)，檢測(cè)的是X射線(xiàn)。

　　2)EDS只能檢測(cè)元素的組成與含量，不能測(cè)定元素的價(jià)態(tài)，且EDX的檢測(cè)限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低。而XPS既可以測(cè)定表面元素和含量，又可以測(cè)定表其價(jià)態(tài)。XPS的靈敏度更高，*低檢測(cè)濃度＞0.１％。

　　3)用法不一樣：EDS常與SEM，TEM聯(lián)用，可以對(duì)樣品進(jìn)行點(diǎn)掃，線(xiàn)掃，面掃等，能夠比較方便地知道樣品的表面（和SEM聯(lián)用）或者體相（和TEM聯(lián)用）的元素分布情況；而XPS則一般獨(dú)立使用，對(duì)樣品表面信息進(jìn)行檢測(cè)，可以判定元素的組成，化學(xué)態(tài)，分子結(jié)構(gòu)信息等。