GB/T26312-2010蒸發(fā)金內(nèi)容是什么?百檢網(wǎng)檢測(cè)范圍廣泛，可根據(jù)客戶需求選擇合適的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)及項(xiàng)目安排檢測(cè)，全國(guó)近千家合作實(shí)驗(yàn)室，CMA/CNAS資質(zhì)齊全，可就近安排寄樣檢測(cè)。今天百檢網(wǎng)就給大家簡(jiǎn)單介紹一下GB/T26312-2010蒸發(fā)金標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容。

1.范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了蒸發(fā)金的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。

本標(biāo)準(zhǔn)主要適用于制造半導(dǎo)體器件用芯片時(shí)背金用蒸發(fā)金。

2.規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 11066(所有部分) 金化學(xué)分析方法

GB/T 15077 貴金屬及其合金材料幾何尺寸測(cè)量方法

GB/T 25934(所有部分) 高純金化學(xué)分析方法

3.要求

3.1 產(chǎn)品分類

3.1.1 蒸發(fā)金產(chǎn)品按化學(xué)成分分為Z-Au99.99和Z-Au99.99兩種牌號(hào)。

3.1.2 蒸發(fā)金產(chǎn)品主要以片狀、柱狀和線盤狀為主,產(chǎn)品形狀及供貨狀態(tài)應(yīng)滿足表1的要求。需方有其他要求時(shí)由供需雙方協(xié)商解決。

3.2 產(chǎn)品標(biāo)記示例

3.2.1 柱狀蒸發(fā)金標(biāo)記

示例:直徑為5mm、長(zhǎng)度為20mm、成分為99.999%的柱狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標(biāo)記為:Z-Au99.999,Φ5×20mm。

3.2.2 蒸發(fā)金片狀產(chǎn)品標(biāo)記

示例:長(zhǎng)為10mm、寬為10mm、厚為2mm的片狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標(biāo)記為:Z-Au99.999,10×10×2mm。

3.2.3 蒸發(fā)金線盤狀產(chǎn)品標(biāo)記

示例:線徑為0.5mm、每盤200g重量的線盤狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標(biāo)記為:Z-Au99.999,Φ0.5mm,200g/線盤。

3.3 化學(xué)成分

產(chǎn)品化學(xué)成分應(yīng)符合表2的要求,其中金質(zhì)量分?jǐn)?shù)為100%減去表中規(guī)定的雜質(zhì)實(shí)測(cè)值的總和而得。需方對(duì)某種特定雜質(zhì)元素含量有要求的,按供需雙方協(xié)商進(jìn)行。

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